Вакуумметр для откачного поста
Вакуумметр - это пробор для измерения величины остаточного давления в вакуумной системе. Обычно он состоит из датчика, подсоединяемого к вакуумной системе и электронного блока обработки сигнала, имеющий аналоговый и/или цифровой выходы на индикаторные, либо иные устройства хранения, обработки и документирования информации. В простейшем случае вакуумметры могут формировать сигналы на включение-выключение исполнительных устройств автоматики вакуумной системы (блокировочные вакуумметры, вакуумные реле и т.д.). Эти возможности используются в автоматических и полуавтоматических откачных постах. По физическому принципу работы датчика различают механические (деформационные), тепловые, магнитные электроразрядные, ионизационные и др. вакуумметры. В последнее время выпускаются многоканальные вакуумметры, способные работать с несколькими датчиками, в том числе различающихся по принципу работы. Каждый датчик работает в определенном интервале давлений, что связано с чувствительностью выбранного физического параметра к величине остаточного давления. По этому признаку все датчики можно разделить нанизковакуумные (форвакуумные), датчики среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. В откачных постах для производства неоновых ламп используются, обычно, низковакуумные датчики. Среди них различают: деформационные и тепловые. Первые обладают довольно высокой точностью и поэтому могут использоваться как образцовые для поверки остальных типов. Динамический диапазон измерения для этих датчиков очень широк; от десятков Тор до 10-3Тор. Поэтому они могут использоваться для
индикации заполнения неоновых ламп инертными газами. Однако датчики этой группы сложны и дорогостоящи, поэтому в неоновом производстве, практически, не используются. Примером вакуумметров с такими датчиками могут служить приборы серии ВД.
В откачных постах неонового производства в настоящее время используются тепловые датчики. Среди них различают: термопарные и терморезисторные (датчики Пирани). Термопарные датчики имеют:
·
Простую схему обработки сигнала;
·
Достаточно
низкую (не более 30%) абсолютную точность измерения;
·
Высокую чувствительность в диапазоне
0,1÷10-3Тор;
·
Относительно небольшую стоимость.
Поэтому термопарные датчики наиболее
часто используются в вакуумных постах неонового производства.
Датчики Пирани (терморезисторные), в
отличи и от термопарных имеют значительно большую
погрешность измерений (разную для различных диапазонов измеряемого давления), в
некоторых случаях достигающую 100%, что , впрочем, является вполне допустимым
для вакуумных измерений. Это говорит лишь о том, что датчики этой группы должны
проходить операцию индивидуальной тарировки
по образцовому вакуумметру. После проведения этой операции вакуумметры,
работающие с датчиками указанной группы, ни в чем не будут уступать
термопарным. Более того будут иметь определенные
преимущества: широкий диапазон измерений n·Тор ÷10-3Тор,
возможность использования блокировочных устройств ит.д.
Определяющим для нас является возможность измерять давления на уровне единиц-
десятков Тор, что позволяет использовать вакуумметры с датчиками Пирани не
только для измерения остаточного давления в системе, но и для заполнения
неоновых ламп инертными газами. В этом случае отпадает необходимость в
дополнительном приборе – манометре (масляном U- образном, либо стрелочном
деформационном). В отечественных откачных постах используется терморезисторный
датчик ПМТ-6-3М, с которым работает целый ряд вакуумметров: 13ВТ-3, РВТ-2М,
ДВТ. В последнее время появились новые типы вакуумметров, обеспечивающие связь
с интерфейсом компьютера, цифровую индикацию и возможность работы одновременно
с термопарными датчиками. Мы не называем типы этих датчиков (при желании информацию
о них вы найдете в интернете), по той простой причине, что они имеют более
высокую стоимость, приближающуюся к стоимости зарубежных аналогов, что для
неонового производства является существенным фактором, ограничивающим их
применение.
В конструкции поста ВМ-Р использован
вакуумметр собственного производства, по схеме близкий к известному прибору ДВТ. В отличи и от последнего он имеет собственный
блок стабилизированного питания, имеет без корпусное исполнение и индикаторное
устройство (аналоговое и/или цифровое). Вакуумметр имеет обычные для этого типа
вакуумметров регулировки, позволяющие тарировать датчик в двух точках: на
атмосфере и на предельном остаточном давлении.
